top of page
  • FORCLEAN

В России готовят производство литографических материалов для выпуска микроэлектроники

Минпромторг заказал разработку и освоение производства литографических материалов для микроэлектронного производства, в частности, фоторезистов. За эту работу ведомство заплатит 1,1 млрд руб. В числе потребителей этих материалов министерство указывает «Микрон» и «НМ-Тех».


Научно-исследовательская работа Министерство промышленности заказало научно-исследовательскую работу «Разработка и освоение производства литографических материалов для микроэлектронного производства». На эти цели из бюджета выделено 1,1 млрд руб., следует из ЕИС «Закупки». Работе присвоен шифр «Фотолиз». Актуальность ее обусловлена прекращением поставок фоторезистов и антиотражающих покрытий иностранного производства для изготовления интегральных схем при отсутствии российских разработок и производства аналогичных материалов, отмечается в техническом задании. Потенциальными потребителями материалов в документе указаны АО «Микрон» и ООО «НМ-Тех». Работы должны быть выполнены до 12 декабря 2025 г. Тендер в формате открытого конкурса был опубликован 14 февраля 2023 г. Заявки принимаются до 3 марта 2023 г. Итоги будут подведены 9 марта. Какие материалы требуются

В рамках НИР, заказанной Минпромторгом, предполагается создание фоторезистов для использования в процессе фотолитографии с длинной волны актиничного лазерного излучения 248 нм.

В рамках работ предусмотрена разработка и освоение производства фоторезистов, а именно марки ФР248-01, ФР248-02, ФР248-03, ФР248-04, ФР248-05 и двух антиотражающих покрытий, а именно марки ПА248-01 и ПА248-02. Исполнитель должен проделать не только теоретические и эскпериментальные работы, но и провести испытания опытных партий фоторезистов, а также подготовить и освоить их производство. «В процессе выполнения НИР образцы разработанных материалов должны быть переданы предприятиям и получено заключение по уровню параметров и применяемости», — отмечается в документах.

Использование в процессе выполнения НИР сырья, материалов и оборудования иностранного производства должно быть согласовано с Минпромторгом. Фоторезисты в России

Фоторезисты представляют собой разновидность светочувствительных полимеров, которые в процессе изготовления микросхем наносятся на кремниевую пластину. Далее производится экспонирование фоторезиста литографической системой через окна фотошаблонов, с последующим «вытравливанием» дорожек на кремниевом кристалле. В техпроцессах используются лазерные установки с длиной волны 248 нм или 193 нм. В сочетании со специальными фазосдвигающими фотошаблонами и иммерсионной технологией (погружение в жидкость), такие фоторезисты позволяют формировать узлы чипов до 14 нм. Для работы с фоторезистами необходимо специальное оборудование. В России за 5,7 миллиарда создадут фотолитографическое оборудование для печати процессоров. Работы должны быть выполнены до ноября 2026 г.

В апреле 2022 г. стало известно о планах «Микрона» вдвое увеличить объемы выпускаемых кремниевых пластин, чтобы победить дефицит отечественных полупроводников в России. Собеседник «Коммерсанта» тогда отметил, что «Микрон» может столкнуться с нехваткой расходных материалов, в особенности тех, что поставляли компании из отвернувшиеся от России государств. В частности, говорилось о фоторезистах, которые ранее импортировались из стран Европы. А оборудование для дополнительных объемов собирался закупать на вторичном рынке, отмечал источник издания.

Связаться с нами можно: -по телефонам: +7 (831) 262-19-71 (доб.200), +7 (495) 120-57-63 -по почте: info@forcleanrussia.ru -на сайте: forclean.tech #forclean #форклин #ооофорклин #чистыепомещения #производствочистыхпомещений #производствоконструкцийчистыхпомещений

Comments


bottom of page